Descripción del Producto
Cumple con SEMI/FIMS
La operación automatizada minimiza la posible contaminación causada por la interacción humana.
Apertura y cierre automatizados.
Los materiales ultrapuros y con baja desgasificación protegen las obleas
La robusta retención de oblea garantiza una generación reducida de partículas
Característica
El Front-Opening Unified Pod (FOUP) es un contenedor crítico y especializado que se utiliza en la fabricación de semiconductores para transportar y almacenar obleas de silicio, en particular aquellas de la variedad de 300 mm.
Esta innovación ha revolucionado la industria de los semiconductores, abordando las complejas demandas del manejo de sustratos de obleas altamente sensibles y valiosos.
El FOUP de obleas de 300 mm está meticulosamente diseñado para garantizar la máxima protección contra contaminantes, daños físicos y descargas electrostáticas, todo lo cual puede afectar significativamente la calidad y el rendimiento de los dispositivos semiconductores.
El eFOUP de 300 mm puede contener hasta 25 obleas a la vez, lo que proporciona un método estandarizado y eficiente para el procesamiento por lotes, lo cual es vital para el entorno de producción de alto-volumen de las modernas fábricas de semiconductores.
Una de las características clave de FOUP es su diseño de apertura frontal-, que se integra perfectamente con sistemas automatizados de manipulación de materiales (AMHS) y equipos de proceso. Este diseño permite transferencias de obleas precisas y libres-de contaminación, ya que se accede a las obleas desde la parte frontal de la cápsula mediante brazos robóticos. Esta automatización minimiza la intervención humana, reduciendo así el riesgo de contaminación y daños mecánicos.
Solicitud
Aplicaciones de cajas de envío con apertura frontal de paso completo (FOUP) de 300T
Manipulación y transporte de obleas
Manipulación limpia y segura de obleas para minimizar la contaminación.
Interfaz de automatización confiable e interoperabilidad
Información del pedido
| Código | Tamaño | Embalaje |
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SSPF-WSP-FOUP-300B |
300 mm | 1 unids/bolsa |
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